国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“等离子体发生装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121463313A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种等离子体发生装置及半导体工艺设备，等离子体发生装置包括辅助电极、多个工作电极和多个功率调节部件，多个工作电极用于设置在半导体工艺设备的工艺腔室内，并在工艺腔室的径向上绝缘且间隔设置，辅助电极用于设置在工艺腔室内并接地，且与多个工作电极对应且间隔设置，多个功率调节部件一一对应地与多个工作电极串联，且多个功率调节部件均用于与射频源电连接，每个功率调节部件均用于调节通过其加载至对应工作电极的射频功率。本发明提供的等离子体发生装置及半导体工艺设备，能够提高等离子体密度的均匀性，从而能够提高半导体工艺的均匀性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1368次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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